KATON O-ring O2 Plasma Weight Loss Test Report

Certificate Authority：Nano-Electro-Mechanical-Systems Research Center,
                                      National Taiwan University
Equipment：SAMCO RIE-10N
Condition：RF：150W
                     Pressure：500 mTorr
                     O2 Low Rate：100 sccm
                     Temp：150°C
                     Time：60 mins