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KATON PF90V 全氟橡膠O型環
商品簡述:
KATON PF90V 內含可做為有機填料的奈米粒子PTFE:可以強化材料,且無須使用傳統有汙染性的填料,例如碳煙或礦物質。
礦物填料,例如 BaSO4、TiO2、SiO2、氧化鋁和矽酸鋁,皆具有高電漿耐受性:因此可以屏蔽聚合物,但是可能會在電漿蝕刻聚合物時遺留離散微粒,而造成汙染。另一方面,PTFE 與 FKM 具有相似的蝕刻率,所以可以徹底蝕刻聚合物填料化合物以形成揮發成分,進而大幅減少產生微粒的可能性。
KATON PF90V 的主要特性,如下所示:
- 高純度(可萃取物的數量少)
- 良好的氧氣電漿耐受度
- 產生極少量的微粒
- 低除氣作用
- 低磁導率
- 低摩擦
- 高耐磨性
- 低彈性模量
- 出色的機械與密封特性
KATON PF90V 為一種符合成本效益的應用材料,適用的溫度額定範圍為–20°C 至300°C,是專為低溫與較無化學腐蝕性的半導體製程用途而開發,例如需要產生更少微粒的蝕刻與物理氣相沉積 (PVD)。此外,也非常適合真空應用。
其在無機酸、稀釋鹼性溶液、蒸氣、脂肪族和芳香族溶劑方面的化學耐受性, 使其成為適用於化學機械研磨/平坦化(CMP) 和溼蝕刻(酸基)製程的產品。 KATON PF90V 可與硫化系統及其他一般 Perfluoroelastomer 配料結合,利用雙輥研磨機或內部混合器完成混合, 且可以透過各種橡膠加工法生產成品。若在配料階段,僅於聚合物中添加液體固化劑(過氧化物和活性助劑),則會產生半透明物。
KATON PF90V 的主要用途為製造任何種類的彈性密封件,例如半導體和平板顯示器製造業使用的反應槽密封件、外蓋密封件、窗戶密封件、進氣口密封件、管線接頭密封件、狹縫閥閘門、外蓋密封、晶圓處理零件,以及CMP晶圓處理零件等。
KATON PF90V 採用原始O型環 (1/PCS ) 的形式標記,配合最終應用。