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KATON TPF PF92T 氟橡膠O型環
商品簡述:
KATON PF92T 是專為需要純度與耐化學性高效應用而設計的TPF氟橡膠(熱塑性塑膠TPF氟橡膠),主要適用於半導體製造應用。
KATON PF92T 內含副橋接結構填料:可以強化材料,且無須使用傳統具汙染性的填料,例如碳煙或礦物質。礦物填料,例如 BaSO4、TiO2、SiO2、氧化鋁和矽酸鋁,皆具有高電漿耐受性:因此可以屏蔽聚合物,但是可能會在電漿蝕刻聚合物時遺留離散微粒,而造成汙染。另一方面,熱塑性塑膠與氟橡膠具有相似的蝕刻率,所以可以徹底蝕刻聚合物填料化合物以形成揮發成分,進而大幅減少產生微粒的可能性。
這些產品適合用於溫度範圍為–10 °C 至 230°C 下的應用。其極致的清潔度與良好的等離子與耐化學性,讓KATON PF92T成為適合大多數乾式(等離子蝕刻、PECVD、LPCVD、金屬 CVD、PVD、ALD、等離子清潔)與濕式半導體製程(晶圓清潔、聚合物移除、濕式蝕刻、拋光)的密封材料
KATON PF92T 主要用途為製造任何種類的彈性密封件,例如半導體產業使用的反應槽密封件、外蓋密封件、窗戶密封件、進氣口密封件、管線接頭密封件、狹縫閥閘門、外蓋密封、晶圓處理零件等。
KATON PF92T 可以與硫化系統及其他一般氟橡膠配料結合,利用雙輥研磨機或內部混合器完成混合,且可以透過各種橡膠加工法生產成品。若在配料階段,僅於聚合物中添加液體過氧化物,則會產生半透明物。
KATON® FK92T Series 特性如下:
• 高純度(可萃取物的數量少)
• 極佳的氧氣與氟電漿耐受性
• 產生極少量的微粒
• 低除氣作用
• 低摩擦
• 高耐磨性
• 低彈性模量
• 出色的機械與密封特性
性價比 | |||||
FK1 | FK2 | FK3 | FK5 | FEPM | FFKM |
★ (平價) |
★★ (一般價) |
★★★★ (中高價) |
★★★ (中價) |
★★★★ (中高價) |
★★★★★ (高價) |
型號表 | |||||
型號 | 顏色 | 硬度 | 材料 | 架橋 | 說明 |
SF55CR-003 | 琥珀透明 | 55 | TPF | 過氧 | 抗臭氧電漿,無輪痕 |
SF61CR-005 | 琥珀透明 | 61 | TPF | 過氧 | 抗臭氧電漿,無輪痕 |