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TPF O型環
商品簡述：
這些產品適合用於溫度範圍為–10 °C 至 230°C 下的應用。其極致的清潔度與良好的等離子與耐化學性，讓TPF成為適合大多數乾式（等離子蝕刻、PECVD、LPCVD、金屬 CVD、PVD、ALD、等離子清潔）與濕式半導體製程（晶圓清潔、聚合物移除、濕式蝕刻、拋光）的密封材料
TPF主要用途為製造任何種類的彈性密封件，例如半導體產業使用的反應槽密封件、外蓋密封件、窗戶密封件、進氣口密封件、管線接頭密封件、狹縫閥閘門、外蓋密封、晶圓處理零件等。
TPF可以與硫化系統及其他一般氟橡膠配料結合，利用雙輥研磨機或內部混合器完成混合，且可以透過各種橡膠加工法生產成品。若在配料階段，僅於聚合物中添加液體過氧化物，則會產生半透明物。
Maxmold TPF的特性如下：
• 高純度(可萃取物的數量少)
• 極佳的氧氣與氟電漿耐受性
• 產生極少量的微粒
• 低除氣作用
• 低摩擦
• 高耐磨性
• 低彈性模量
• 出色的機械與密封特性
| 性價比 | |||||
| FK1 | FK2 | FK3 | FK5 | FEPM | FFKM |
| ★ (平價) |
★★ (一般價) |
★★★★ (中高價) |
★★★ (中價) |
★★★★ (中高價) |
★★★★★ (高價) |
| 型號表 | |||||
| 型號 | 顏色 | 硬度 | 材料 | 架橋 | 說明 |
| TPF | 琥珀透明 | 70 & 75 | TPF | 過氧 | 抗臭氧電漿，無輪痕 |